潔凈室過濾材料
潔凈室中的完整過濾系統(tǒng)，通常由預(yù)過濾器和HEPA或ULPA過濾器段組成。預(yù)過濾器的效率較低，無法去除空氣中來自外部環(huán)境的相對較大的顆粒。向清潔區(qū)域供應(yīng)空氣的空氣系統(tǒng)應(yīng)配備HEPA或ULPA過濾器，以防止細小污染物，以達到一定的空氣質(zhì)量水平。在這種應(yīng)用中，過濾材料的低壓和高容塵能力對預(yù)過濾器很重要，而高效率一致性對HEPA或ULPA過濾器更為重要。
